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Jenoptik und Lambda Physik mit erstem Auftrag für EUV-Strahlquellen

Das Nanotechnologie Joint Venture XTREME technologies GmbH der JENOPTIK AG und der Lambda Physik AG erhielt früher als erwartet den ersten Auftrag für EUV-Strahlquellen. XTREME technologies und der britische Mikrostepper-Hersteller Exitech vereinbarten eine langfristige Kooperation zur Entwicklung der EUV-Technologie für Mikrostepper.

Die Auslieferung der Extrem-Ultraviolett (EUV)-Strahlquellen ist für 2003 vorgesehen. Ursprünglich wurden die ersten Umsätze für 2004/2005 erwartet. Die Einführung der EUV-Technologie in die Produktion von Mikrochips in der Halbleiterindustrie wird ab 2007 erwartet. Sie ist die Nachfolgetechnologie für die derzeit eingesetzte Excimerlasertechnologie.

Die Aktien von Lambda Physik stiegen gestern um 1,43 Prozent und schlossen bei 7,10 Euro.


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WebReporter: finance-online.de
Rubrik:   Wirtschaft
Schlagworte: Auftrag, Physik, Strahl
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