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Röntgenlampen für die Herstellung von Halbleiterchips

Die Halbleiter werden immer feiner und sensibler, deshalb werden nun in der Produktion von Halbleiterchips Röngenlampen eingesetzt um die vielfach kleineren Strukturen überhaupt noch zu sichten.

Da es für diesen Arbeitsschritt noch keine Laser gibt werden nur durch die Röntgenlampen mit einer heißen Plasmaquelle notwendig, wie sie eigentlich nur im inneren der Sonne zu finden sind.

Die Strahlung die zur Herstellung dieser Halbleiterchips notwendig sind werden durch ein aufwendiges Verfahren erzeugt, eine Arbeitsgruppe der Uni - Würzburg betreut diese Wissenschaftliche Arbeit an diesem Projekt.


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WebReporter: ForrestG
Rubrik:   Wissenschaft
Schlagworte: Herstellung, Röntgen, Halbleiter
Quelle: www.zdnet.de

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